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電容位移傳感器未來會集成化多功能化智能化發(fā)展
更新時間:2018-07-05   點擊次數:1155次
  電容位移傳感器是一種非接觸式的精密傳感器,用于精密測量儀器及控制設備中,作為檢測探頭,對微小的位移變化起反應。
  其特性是:
 ?、倬哂幸话惴墙佑|式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點;
  ②信噪比大,靈敏度高,零點漂移?。?br /> ?、垲l率響應寬, 線性度高,精度及穩(wěn)定性好;
  ④具有抗電磁干擾能力強,使用操作方便等優(yōu)點。
  當前電容位移傳感器在科學技術領域、工農業(yè)生產以及日常生活中發(fā)揮著越來越重要的作用。人對傳感器提出的越來越高的要求是傳感器技術發(fā)展的強大動力,而現(xiàn)代們學技術突飛猛進則提供了堅強的后盾。隨著科技的發(fā)展,電容位移傳感器也在不斷的更新發(fā)展。展望未來電容位移傳感器的發(fā)展應當為三化:集成化、多功能化、智能化。
  電容位移傳感器集成化包括兩種定義,一是同一功能的多元件并列化,即將同一類型的單個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列起來,排成1維的為線性傳感器,CCD圖象傳感器就屬于這種情況。集成化的另一個定義是多功能一體化,即將傳感器與放大、運算以及溫度補償等環(huán)節(jié)一體化,組裝成一個器件。
  隨著集成化技術的發(fā)展,各類混合集成和單片集成式壓力傳感器相繼出現(xiàn),有的已經成為商品。集成化壓力傳感器有各種類型,其中壓阻式集成化傳感器發(fā)展快、應用廣。
  電容位移傳感器的多功能化也是其發(fā)展方向之一。所謂多功能化的典型實例,單片硅多維力傳感器可以同時測量3個線速度、3個離心加速度(角速度)和3個角加速度。主要元件是由4個正確設計安裝在一個基板上的懸臂梁組成的單片硅結構,9個正確布置在各個懸臂梁上的壓阻敏感元件。多功能化不僅可以降低生產成本,減小體積,而且可以有效的提高傳感器的穩(wěn)定性、可靠性等性能指標。
  把多個功能不同的傳感元件集成在一起,除可同時進行多種參數的測量外,還可對這些參數的測量結果進行綜合處理和評價,可反映出被測系統(tǒng)的整體狀態(tài)。由上還可以看出,集成化對固態(tài)傳感器帶來了許多新的機會,同時它也是多功能化的基礎。
  電容位移傳感器與微處理機相結合,使之不僅具有檢測功能,還具有信息處理、邏輯判斷、自診斷、以及“思維”等人工智能,就稱之為電容位移傳感器的智能化。借助于半導體集成化技術把傳感器部分與信號預處理電路、輸入輸出接口、微處理器等制作在同一塊芯片上,即成為大規(guī)模集成智能傳感器??梢哉f智能傳感器是傳感器技術與大規(guī)模集成電路技術相結合的產物,它的實現(xiàn)將取決于傳感技術與半導體集成化工藝水平的提高與發(fā)展。這類傳感器具有多能、高性能、體積小、適宜大批量生產和使用方便等優(yōu)點,可以肯定地說,是電容位移傳感器重要的方向之一。

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