光譜共焦傳感器是一種精度可達(dá)次微納米量級(jí)的非接觸式位移量測(cè)系統(tǒng)，可測(cè)量漫反射/鏡面反射及透明多層材質(zhì)的位移,厚度,也適合深孔/盲孔工件等運(yùn)用。
光譜共焦傳感器特點(diǎn)：
1非接觸式光學(xué)共焦測(cè)量技術(shù), 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號(hào)不會(huì)被遮擋之特性
2光纖傳輸彩色編碼測(cè)頭設(shè)計(jì), 其結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
3採(cǎi)用白光(可見(jiàn)光)光源系統(tǒng), 相較激光光源而言安全防護(hù)要求低
4獨(dú)特多層材質(zhì)量測(cè)演算法, 可量測(cè)透明／半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
光譜共焦傳感器/光譜共焦
優(yōu)勢(shì)：
1 穩(wěn)定量測(cè)各類材質(zhì), 例如金屬／陶瓷／鏡面／玻璃等
2 適用於各種工件形貌（包含深孔／斜面／弧面）之特徵尺寸量測(cè), 例如高度／段差／厚度／平面度／輪廓度等
3 高溫高壓等嚴(yán)苛操作條件下亦能適應(yīng)正常使用
光譜共焦傳感器與普通激光位移傳感器區(qū)別
光譜共焦位移傳感器采用白光作為測(cè)量介質(zhì)，而激光位移傳感器采用的是激光。從原理來(lái)講，光譜共焦位移傳感器可以直接照射被測(cè)物體，由于白色混合光包含各個(gè)顏色的光譜，且在透鏡下會(huì)產(chǎn)生色散效應(yīng)，距離探頭遠(yuǎn)近不同，反射回來(lái)的光顏色會(huì)不一樣。zui遠(yuǎn)端是紅色，zui近端是紫色。傳感器靠區(qū)分反射光的顏色就可以知道被測(cè)物體距離探頭的遠(yuǎn)近距離了。
激光位移傳感器有幾種，包括三角反射式的，脈沖時(shí)間差式的，還有相位差式的。
總的來(lái)講光譜共焦位移傳感器精度更高，光斑更小，測(cè)量更精細(xì)，但價(jià)格更貴且調(diào)節(jié)起來(lái)有一定技術(shù)含量。普通激光位移傳感器已經(jīng)應(yīng)用的非常普遍了。
